NST, 2020년도 융합연구단사업으로 ‘플라즈마 공정장비 지능화 융합연구단’선정

□ 국가과학기술연구회(이사장 원광연, 이하 NST)는 2020년도 융합연구단사업으로 국가핵융합연구소가 주관하는 “반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술개발 및 실증” 과제(플라즈마 공정장비 지능화 융합연구단, 이하 플라즈마 융합연구단)를 선정했다.

□ 플라즈마 융합연구단은 NST 소관의 국가핵융합연구소, 한국과학기술연구원, 한국과학기술정보연구원, 한국표준과학연구원과 7개 대학*의 반도체 장비 산업 관련 연구인력 100여명이 참여한다.

* 서울대, 부산대, 충남대, 전북대, 명지대, 가천대, 한국항공대

□ 플라즈마 융합연구단은 반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증을 최종 목표로 6년*(3+3년) 간 440억 원이 투입되며, 오는 11월 1일부터 군산시에 위치한 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터에서 연구를 진행한다.

* 총 연구기간 : 2020. 11. 01. ∼ 2026. 10. 31.

○ 또한, 출연연 지역조직에 융합연구단을 운영함으로써 과학기술기반 지역산업단지 혁신성장의 성공사례를 만들 것으로 기대하고 있다.

□ 플라즈마 융합연구단 윤정식 단장(국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터장)은 “반도체 제조 공정장비 지능화 기술에 대한 R&D 테스트 베드를 구축하여 국산 장비의 글로벌 경쟁력을 높이고, 세계 시장 점유율을 확대해 나갈 것”이라 포부를 밝혔다.

□ NST 원광연 이사장은 “반도체 장비에 대한 해외 의존도가 높은 상황에서 플라즈마 융합연구단이 국산 반도체 공정 장비의 경쟁력을 높이는 전환점이 되길 바란다”며, 이와 함께 “군산시에 설치되는 융합연구단이 지역 내 장비산업의 허브로서 지역산업혁신과 국토균형발전을 이룰 수 있도록 지원을 아끼지 않을 것”이라고 말했다.